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　1）真空度：干式螺桿真空泵、爪式真空泵、無油渦旋真空泵極限真空度都很高，最高極限真空均可達到1-2Pa；無油往復真空泵為粗真空設備，極限真空百度低，需要搭配羅茨真空泵提高極限真空。

　　2) 抽氣量：無油渦旋真空泵由于內部結構問題，抽氣量較小，只適用于小抽氣量的工藝中；干式螺桿真空泵型號齊全，可適用大抽氣量工藝中，配合羅茨真空泵可以滿足不同客戶的需求。

　　3）穩定性：干式螺桿真空泵性能穩定，噪音低，故障率低；無油往復真空泵結構簡單，噪音較高，需要經常更換滑片。爪式真空泵由于裝配復雜，轉子與軸不為一體，出現故障需全部重新拆解裝配，反復裝配從而降低產品性能及穩定性。

　　4）特殊處理：由于化工、制藥等相關工藝氣中會不同程度含有易燃、易爆以及腐蝕性氣體，所以干式真空泵需要特殊處理。干式螺桿真空泵內部結構簡單，兩根轉子、泵腔均可做防腐處理，可選用鎳磷涂層和特氟龍兩種涂層。爪式真空泵很難做防腐處理，各級隔板之間幾乎無法做表面處理，轉子表面的防腐涂層也容易在裝配時損傷。無油渦旋真空泵只適合抽潔凈的氣體，不能抽取易燃、易爆及具有腐蝕性的氣體。

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