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真空泵的測量方式

發布時間：2014-9-25 標簽：真空泵

　　真空泵的測量方式：

真空泵

　　1.熱偶真空計
　　利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。
　　2.電離真空計
　　由筒狀收集極，柵網和位于柵網中心的燈絲構成，筒狀收集極在柵網外面。熱陰極發射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。
　　3.復合真空計
　　由熱偶真空計與熱陰極電離真空計組成，測量范圍從大氣~10-5Pa。
　　4.冷陰極電離計
　　陽極筒的兩端有一對陰極板，在外加磁場作用，陽極筒內形成潘寧放電產生離子，根據陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強的真空計。
　　5.電阻真空計
　　利用加熱元件的電阻與溫度有關，元件的溫度又與氣體傳導有關的原理，通過電橋電路來測量真空度的真空計。
　　6.麥克勞真空計
　　也成為壓縮式真空計，將待測的氣體用汞壓縮到一極小體積，然后比較開管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強的一種絕對真空計。
　　7.電容薄膜真空計
　　這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規。收集極是一根細絲，放在柵網中心，燈絲放在柵網外面，因而減少軟X射線影響，延伸測量下限，可測超高真空。

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