爪型干式 真空泵的結(jié)構(gòu)，一般采用多級(jí)轉(zhuǎn)子串聯(lián)，或 羅茨轉(zhuǎn)子與多級(jí)轉(zhuǎn)子串聯(lián)的形式，組成多級(jí)爪型干式 真空泵。四級(jí)泵腔依次串聯(lián)，每級(jí)泵腔內(nèi)各有一對(duì)共軛嚙合，做同步反向運(yùn)動(dòng)的爪型轉(zhuǎn)子。 四級(jí)泵腔中的第一級(jí)泵腔為吸氣級(jí)，其吸氣容積比后面三級(jí)大，形成級(jí)間壓縮。
四對(duì)轉(zhuǎn)子裝在二根平行軸上，軸由上下兩端軸承支撐，泵腔級(jí)與級(jí)之間有隔板，隔板上有吸排氣通道。
電動(dòng)機(jī)倒立 安裝，經(jīng)過渡齒輪將動(dòng)力傳遞到轉(zhuǎn)子軸上，轉(zhuǎn)子軸由一對(duì)同步時(shí)限齒輪帶動(dòng)及調(diào)整和固定轉(zhuǎn)子的相位。 轉(zhuǎn)子之間及轉(zhuǎn)子與泵腔內(nèi)部留有微小縫隙，轉(zhuǎn)子懸浮于泵腔使得過流部分無任何實(shí)質(zhì)性接觸摩擦，也不需要潤滑，這就保證了爪泵可以長期穩(wěn)定保持極限真空、抽速、壓縮比不變，壽命長。
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