真空系統獲得真空的過程稱為抽真空,也叫做抽氣或排氣。在規定的氣壓下單位時間抽出的氣體體積稱為抽氣速率，即抽速.也可以叫做泵速，單位是L/S.泵或某一真空系統在排氣足夠長的時問后所能達到的最低氣壓稱為極限真空度.

稀油金屬冶金要求高真空條件.因此常使用機械泵和擴散泵配置成的高真空機組成套設備.用機械泵和增壓泵串聯可抽真空至10-6Pa.欲進一步提高真空度，還可在工作系統中放針吸附劑或安裝冷阱，將泵沒有抽走的氣體吸附或冷凝下來.有時還增設一級機械增壓泵與機組串聯或并聯，以提高一定真空范圍內的抽氣能力。

在高真空機組中.機械泵能使氣壓從一個大氣壓開始變小，稱為前級泵;擴散泵只能從較低的氣壓抽到更低的氣壓.稱為次級泵。次級泵開始工作的氣壓稱之為預備真空或前級真空。每種真空泵的最佳抽速均與一定的入口壓強相對應.因此.必須合理配俊真空機組，才能獲得最佳的真空效益.而一個不合理的的配置不僅會造成浪費，也導致其空系統的真空度達不到預期要求。
真空機組的合理配置應解決好如下幾個主要問題:

1)根據真空設備產生的氣體量、工作壓強、極限其空度及抽氣時間等要求，選擇主泵的類型.確定管路及選配真空元件;

2)選配好主泵后，計算真空設備的抽氣時間及達到的壓強;

3)了解真空泵的荃本參數與導管的通過能力的關系等.